Д.В. Камлюк - Технологическое оборудование для микроэлектроники Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования Название: Технологическое оборудование для микроэлектроники Автор: Д.В. Камлюк Язык: Русский Издательство: РИПО Жанр: Электроника Год выхода: 2014 Формат: pdf Страниц: 391 Размер: 63,8 MB Скачать Д.В. Камлюк - Технологическое оборудование для микроэлектроники |
Категория: КНИГИ / ЖУРНАЛЫ
Теги: Литература Книга Электронная книга Технологическое оборудование для микроэлектроники
Читайте также:
