Корзо В.Ф., Черняев В.Н. - Диэлектрические пленки в микроэлектронике![]() В книге анализируются наиболее характерные свойства пленочных диэлектриков, используемых в современных полевых приборах и элементах функциональной микроэлектроники. Рассмотрены основные технологические методы получения тонких диэлектриков с заданными свойствами и влияние технологических параметров на их физические и эксплуатационные характеристики. Категория: КНИГИ / ЖУРНАЛЫ
|
Новое на сайте
Вчера, 19:24
27
0
18-10-2026, 20:11
115
0
8-10-2026, 15:15
239
0
2-10-2026, 19:52
138
0
Сегодня, 15:04
1
0
|
|
модуль Topfiles v.1.0 modification
модуль
|

















