Корзо В.Ф., Черняев В.Н. - Диэлектрические пленки в микроэлектронике

В книге анализируются наиболее характерные свойства пленочных диэлектриков, используемых в современных полевых приборах и элементах функциональной микроэлектроники. Рассмотрены основные технологические методы получения тонких диэлектриков с заданными свойствами и влияние технологических параметров на их физические и эксплуатационные характеристики.