Корзо В.Ф., Черняев В.Н. - Диэлектрические пленки в микроэлектронике В книге анализируются наиболее характерные свойства пленочных диэлектриков, используемых в современных полевых приборах и элементах функциональной микроэлектроники. Рассмотрены основные технологические методы получения тонких диэлектриков с заданными свойствами и влияние технологических параметров на их физические и эксплуатационные характеристики. Категория: КНИГИ / ЖУРНАЛЫ
|
Новое на сайте
15-08-2026, 15:06
138
0
9-08-2026, 17:53
148
0
4-08-2026, 16:38
213
0
Сегодня, 12:33
0
0
|
|
модуль Topfiles v.1.0 modification
модуль
|
