Регистрация Войти
Вход на сайт
» » Цыбульников М.Б.

Папков В.С., Цыбульников М.Б. - Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе

31-07-2019, 15:39
Автор: rogas86
Просмотров: 275
Комментариев: 0
Папков В.С., Цыбульников М.Б.  - Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе

Рассматриваются вопросы получения гетероэпитаксиальных структур кремния на сапфире и шпинели и формирования на их основе интегральных схем.
Категория: КНИГИ / ЖУРНАЛЫ