Корзо В.Ф., Черняев В.Н. - Диэлектрические пленки в микроэлектронике![]() В книге анализируются наиболее характерные свойства пленочных диэлектриков, используемых в современных полевых приборах и элементах функциональной микроэлектроники. Рассмотрены основные технологические методы получения тонких диэлектриков с заданными свойствами и влияние технологических параметров на их физические и эксплуатационные характеристики. Категория: КНИГИ / ЖУРНАЛЫ
|
Новое на сайте
Сегодня, 20:59
0
0
Сегодня, 20:31
1
0
Сегодня, 17:54
21
0
Сегодня, 16:57
5
0
Сегодня, 14:15
9
0
|
модуль Topfiles v.1.0 modification
модуль
Популярное на сайте
|